晶圓顯微鏡XJ-59C-1,采用了無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)、長(zhǎng)工作距 明暗場(chǎng)物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),長(zhǎng)壽命LED光源。主要用于半導(dǎo)體芯片、晶圓、LCD 行業(yè)、粒子爆破檢查等材料表面各種檢驗(yàn)需要。明暗場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)使得該顯微鏡即檢查晶圓電子線路圖案及表面細(xì)微劃痕也可以檢查圖案顏色。
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