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上海蒲柘光電儀器有限公司

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晶圓顯微鏡

  • 產(chǎn)品名稱(chēng):金相顯微鏡XJ-59C-1
  • 產(chǎn)品型號(hào):XJ-59C-1
  • 產(chǎn)品規(guī)格:50X -1000X
  • 產(chǎn)品咨詢(xún):
  • 上      海:021-31229638
  • 北      京:13601155230
  • 天      津:18920418771
  • 生命科學(xué)網(wǎng):21li.cn.cn
  • 材料科學(xué)網(wǎng):www.pzgdsh.com
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新型大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查金相顯微鏡XJ-59C-1,采用了全新設(shè)計(jì)的無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)、長(zhǎng)工作距  明暗場(chǎng)物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),長(zhǎng)壽命LED光源。主要用于半導(dǎo)體芯片、晶圓、LCD 行業(yè)、粒子爆破檢查等材料表面各種檢驗(yàn)需要。顯微鏡具有用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察等功能。放大倍數(shù)50-1000X。

產(chǎn)品特點(diǎn):

1、所有光學(xué)部件均經(jīng)過(guò)特殊處理并鍍有特殊膜層

2、8英寸大平臺(tái)半導(dǎo)體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美

3、采用無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡及視場(chǎng)高眼點(diǎn)大視野目鏡

4、各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對(duì)比度的顯微圖像

5、采用了防霉處理,有效保護(hù)了鏡頭,延長(zhǎng)了儀器的使用壽命。

6、多種高度功能化的附件,能滿(mǎn)足半導(dǎo)體檢查各種場(chǎng)景需要。

7、兩路光路自由切換輸出,一路用于觀察,一路連接攝像裝置。

產(chǎn)品應(yīng)用:

1、半導(dǎo)體芯片、晶圓、LCD 行業(yè)、粒子爆破檢查。2、觀察材料表面的某些特性,3、分析金屬、礦相內(nèi)部結(jié)構(gòu)組織。

型號(hào)

配置

光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

放大倍數(shù)

50 -1000

觀 察 筒

無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,分光比 1000

   

高眼點(diǎn)大視野目鏡 SWH10X-H/25mm,視度可調(diào)

  

無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM 可見(jiàn)光金相物鏡 5X NA0.15 WD14.8mm

無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM 可見(jiàn)光金相物鏡 10X NA0.30 WD8.5mm

無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM 可見(jiàn)光金相物鏡 20X NA0.45 WD11.9mm

無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM 可見(jiàn)光金相物鏡 50X NA0.75 WD3.0mm

無(wú)限遠(yuǎn)半復(fù)消長(zhǎng)距明暗場(chǎng)物鏡 45MM 可見(jiàn)光金相物鏡 100X NA0.90 WD1.0mm.

物鏡轉(zhuǎn)換器

5 孔明暗場(chǎng)物鏡轉(zhuǎn)換器 ( DIC 插槽)

機(jī) 

上光源

反射用機(jī)架低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm,微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置 和隨機(jī)上限位裝置。 內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)

載 物 臺(tái)

8 英寸載物臺(tái),平臺(tái)面積  525*330mm,移動(dòng)行程:210mmX210mm 機(jī)械平臺(tái),X、Y 方向同軸調(diào)節(jié);含快速移動(dòng)裝置  晶圓載物臺(tái):底盤(pán)尺寸 200*200mm,兼容 4/6/8 寸晶圓片

聚 光 鏡

搖出式消色差聚光鏡 (N.A.0.9)

反射照明器

明暗場(chǎng)反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌,中心可調(diào),帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡  起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板

   

10W 可調(diào) LED 燈室,透、反射通用,預(yù)定中心

攝像接口

攝影攝像附件:0.65X,C 型接口,可調(diào)焦

型號(hào)

參數(shù)

攝像接口

0.5X1X

攝像頭

630萬(wàn)-1200萬(wàn)像素  (含二維測(cè)量功能)

干涉片

諾曼爾斯基微分干涉片