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上海蒲柘光電儀器有限公司

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等離子清洗機(jī)

  • 產(chǎn)品名稱:等離子體清洗機(jī)P-M
  • 產(chǎn)品型號:P-M
  • 產(chǎn)品規(guī)格:直徑215mm*235mm
  • 產(chǎn)品咨詢:
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  • 北      京:13601155230
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  • 材料科學(xué)網(wǎng):www.pzgdsh.com
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P-M是一款將真空式等離子體技術(shù)應(yīng)用于各種不同領(lǐng)域的研究性操作平臺,除了實現(xiàn)常規(guī)清潔樣品和表面改性的功能外,通過添加不同的功能模塊,可以實現(xiàn)等離子體鍍膜,等離子體合成反應(yīng),等離子體純化等功能。極大的拓展該設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域。

一、產(chǎn)品原理

P-M是一種非破壞性的表面處理設(shè)備,它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù),在一定真空負(fù)壓的狀態(tài)下,以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性極高的氣體等離子體,該等離子體以一定能量作用于樣品表面,引起分子結(jié)構(gòu)改變和表面形貌的納米級變化,從而達(dá)到對樣品表面進(jìn)行改性和分解污染物的目的。

二、應(yīng)用范圍:

等離子表面處理技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。P-M小型等離子表面處理設(shè)備以體積小、成本低、操作簡便等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于科研及小批量生產(chǎn)場合。

 

P-M參數(shù)(標(biāo)準(zhǔn)配置)

外部尺寸

641*533*451mm

 

真空腔尺寸

直徑215mm*235mm

不銹鋼腔體

電極尺寸

120*125mm

多控自適應(yīng)平板電極

等離子體發(fā)生器

RF射頻發(fā)生器,頻率:13.56MHz

自適應(yīng)阻抗匹配電源

功率

0-200W連續(xù)可調(diào)

精度1W

真空計

熱電偶真空計 0-1000mT

 

供氣

1路氣體

6mm國標(biāo)連接件(軟管)

控制方式

4.3寸觸摸屏

 

可 選 配 置

ALC

純鋁腔體

 

RF-300

等離子體發(fā)生器

頻率13.56MHz 0-300W自動阻抗匹配電源

可調(diào)電極

可調(diào)節(jié)電極間距

電極間距20-60mm可調(diào),改變等離子體場濃度特性

CM裝置

沉積鍍膜模塊

用于改變表面特性:

1、沉積CF材料,樣品表面可以具有憎水的特性

2、沉積含苯材料,樣品表面起到絕緣防水的特性

3、沉積含有羥基的材料,提高樣品表面和其他材料的結(jié)合效果。

GP裝置

氣體純化裝置

 

PPU

粉體處理裝置

用于處理微納米級別顆粒

 

氣體收集裝置

用于收集等離子體化學(xué)反應(yīng)后的氣體

 

小型氧氣發(fā)生器

用于制備氧氣,可取代氧氣罐

 

氣體混合裝置

可以根據(jù)可以要求進(jìn)行混氣設(shè)計

 

感應(yīng)耦合模塊

感應(yīng)耦合等離子體裝置

 

加熱電極模塊

電極可以加熱,室溫~200度可調(diào)。

 

光譜儀模塊

可以增加光譜儀的接口,檢測等離子體光譜變化

 

電極轉(zhuǎn)換模塊

可以自由變換電極設(shè)計,樣品可以放在射頻電極上,也可以放在地電極上。從而實現(xiàn)不同的處理效果。

抽氣裝置

 

飛躍 VRD-8  二級油泵

尺寸:495x160x237mm   功率:1000W   抽氣速率:8m3/h