看光刻膠光致抗蝕劑殘留物用熒光顯微鏡，光致抗蝕劑殘留物是指在后端線蝕刻中，未被完全去除或未被有效處理的抗蝕劑。這些殘留物可能對后續(xù)工藝產(chǎn)生不良影響，如腐蝕、沾污等。因而在工藝完成后，需要選擇性去除光刻膠并清潔表面，確保表面無殘留物和顆粒。光解型光刻膠是一種將化學(xué)熒光染料作為光敏劑的光刻膠，所以檢查光致抗蝕劑殘留物要用熒光顯微鏡。
產(chǎn)品詳情：21li.cn/product/yingguangshengwu
上一篇：四川某新材料公司購買炭黑顯微鏡
下一篇：天津地區(qū)提供看晶圓檢測顯微鏡