鍍膜玻璃、芯片、碳膜、納米標尺等材料表面潔凈度檢查，常用的一般是體視顯微鏡和金相顯微鏡。體視顯微鏡發(fā)大倍數(shù)在7-55X之間。可以檢測5um及以上的污染物，并且檢查的視場范圍較大。金相顯微鏡發(fā)大倍數(shù)在5X-1000X之間，可以很容易發(fā)現(xiàn)0.5um的污染物，但視場范圍小。所以污染物在5um以上一般建議選體視顯微鏡。
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