樣品名稱(chēng)
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STO襯底,GdScO3襯底
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測(cè)試模式
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AFM輕敲模式
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測(cè)試要求
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形貌觀察及臺(tái)階觀察
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樣品1(GdScO3-etched):2000nm X 2000nm
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樣品2(GdScO3-unetched)2000nm X 2000nm
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樣品3(STO):2000nm X 2000nm
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樣品4(STO-30S):2000nm X 2000nm
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樣品5(STO-30S):500nm X 500nm
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樣品6(STO-45S):2000nm X 2000nm
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