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早在公元前一世紀，人們就已經(jīng)發(fā)現(xiàn)通過球形透明物體去觀察微小物體時，可以使其放大成像。后來逐漸對球形玻璃表面能使物體放大成像的規(guī)律有了認識。

1590年，荷蘭的眼鏡商詹森和他的兒子把幾塊鏡片放進了一個圓筒中，結(jié)果發(fā)現(xiàn)通過圓筒看到附近的物體出奇的大，這就是現(xiàn)在的顯微鏡和望遠鏡的前身。

1610年，意大利的伽利略和德國的開普勒在研究望遠鏡的同時，改變物鏡和目鏡之間的距離，出合理的顯微鏡光路結(jié)構(gòu)，當時的光學工匠都紛紛從事顯微鏡的制造、推廣和改進。

1665年，Hooke(虎克)：「細胞」名詞的由來便由虎克利用復合式顯微鏡觀察軟木的木栓組織上的微小氣孔而得來的。英國的胡克和荷蘭的列文胡克對顯微鏡的進一步發(fā)展作出了卓越的貢獻。 1665年前后，胡克在顯微鏡中加入粗動和微動調(diào)焦機構(gòu)、采光系統(tǒng)和承載標本片的工作臺。這些部件經(jīng)過不斷改進，成為現(xiàn)代顯微鏡的基本組成部分。 1673～1677年期間，列文胡克掌握了很高的磨制鏡片的技藝，制成了當時世界上可以放大270倍的顯鏡。其中九臺保存至今.以后幾百年來，人們一直用光學顯微鏡觀察微觀和探索眼睛看不到的世界。

1827年，高質(zhì)量消色差浸液物鏡的出現(xiàn)，使顯微鏡觀察微細結(jié)構(gòu)的能力大為提高。阿米奇第一個采用了浸液物鏡。

1850年，出現(xiàn)了偏光顯微術(shù)

1876年，Abbe(阿比)：剖析影像在顯微鏡中成像時所產(chǎn)生的繞射作用，試圖設(shè)計出顯微鏡。

1881年，Retziue(芮祖)：動物組織報告問世，此項發(fā)表在當世尚無人能凌駕逾越。然而在20年后，卻有以Cajal(卡嘉爾)為首的一群組織學家發(fā)展出顯微鏡染色觀察法，此舉為日后的顯微解剖學立下了基礎(chǔ)。

1886年，Zeiss(蔡氏)：打破一般可見光理論上的極限，他的發(fā)明--阿比式及其它一系列的鏡頭為顯微學者另辟一新的解像天地。

1893年，出現(xiàn)了干涉顯微術(shù)
1924年，Lacassagne(蘭卡辛)：與其實驗工作伙伴共同發(fā)展出放射線照相法，這項發(fā)明便是

利用放射性釙元素來探查生物標本。
1930年，Lebedeff(萊比戴衛(wèi))：設(shè)計并搭配第一架干涉顯微鏡。

1932年，Zernicke(卓尼柯)在1932年發(fā)明出相位差顯微鏡，兩人將傳統(tǒng)光學顯微鏡延伸發(fā)展出來的相位差觀察使生物學家得以觀察染色活細胞上的種種細節(jié)。

1938年，德國工程師Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一臺透射電子顯微鏡TEM

1952年，英國工程師Charles Oatley制造出了第一臺掃描電子顯微鏡（SEM）電子顯微鏡是20世紀的發(fā)明之一。由于電子的速度可以加到很高，電子顯微鏡的分辨率可以達到納米級（10-9m）。很多在可見光下看不見的物體(如病毒)在電子顯微鏡下現(xiàn)出了原形。

1952年，Nomarski(諾馬斯基)：發(fā)明干涉相位差光學系統(tǒng)。此項發(fā)明不僅享有專利權(quán)并以發(fā)明者本人命名之。

1981年，Allen and Inoue(艾倫及艾紐)：將光學顯微原理上的影像增強對比，發(fā)展趨于完美境界。

1983年，IBM公司蘇黎世實驗室的兩位科學家Gerd Binnig和Heinrich Rohrer發(fā)明了所謂的掃描隧道顯微鏡（STM）。這種顯微鏡比電子顯微鏡更激進，它完全失去了傳統(tǒng)顯微鏡的概念

1988年，Confocal(共軛焦)掃描顯微鏡在市場上被廣為使用。激光掃描共聚焦顯微鏡是二十世紀80年代發(fā)展起來的一項具有劃時代的高科技產(chǎn)品，它是在熒光顯微鏡成像基礎(chǔ)上加裝了激光掃描裝置，利用計算機進行圖像處理，把光學成像的分辨率提高了30%--40%，使用紫外或可見光激發(fā)熒光探針從而得到細胞或組織內(nèi)部微細

顯微鏡發(fā)展史圖片：