偏光顯微鏡放大倍數在50-600X之間,主要用于顯微觀察,可用于碳化硅單晶缺陷顯微分析。在透射偏光顯微鏡下,碳化硅單晶微管通常呈現為蝴蝶形 ,這是由于微管周圍存在著應力場 ,且應力分布不均勻 ,當線偏振光在通過微管周圍區(qū)域時傳播速度不同造成的。體視顯微鏡放大倍數一般在6-80X之間。主要用于宏觀顯微觀察。通過體視顯微鏡可觀察升華法生長的 SiC 單晶 , 在樣品腐蝕前后所觀察到的微管數目。
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